簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="無光罩微影"


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    非接觸浸潤式無光罩微影系統研發
    • /97/ 碩士
    • 研究生: 藍國瑋 指導教授: 鄭正元
    • 本研究應用浸潤式微影概念於先前實驗室研發設計的顯微鏡式DMD(Digital Micromirror Device)無光罩微影系統(Maskless Photolithography System)…
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